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半導體缺陷檢測:自動(dòng)化顯微成像模組

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品時(shí)間:2024-07-04
  • 簡(jiǎn)要描述:半導體缺陷檢測:自動(dòng)化顯微成像模組,針對半導體集成電路工藝線(xiàn)從表面缺陷檢查到圖形尺寸測量等各環(huán)節自動(dòng)化視覺(jué)檢測需求。
  • 產(chǎn)品介紹

半導體缺陷檢測:自動(dòng)化顯微成像模組

針對半導體集成電路工藝線(xiàn)從表面缺陷檢查到圖形尺寸測量等各環(huán)節自動(dòng)化視覺(jué)檢測需求。

半導體缺陷檢測:自動(dòng)化顯微成像模組

產(chǎn)品特性和核心技術(shù):

激光自動(dòng)聚焦:

·自主研制的激光輔助離焦量傳感器。

·可在無(wú)圖案晶圓上實(shí)現精確自動(dòng)聚焦和表面跟蹤。

·輔以圖形邊緣識別,實(shí)現雙模式自動(dòng)調焦。

明場(chǎng)成像和照明系統:

·自主研制的小型化科勒照明系統。

·照明視場(chǎng)均勻、無(wú)暗角,成像視場(chǎng)中心和邊角均有高對比度和解析度。

全自動(dòng)操作:

·全軟件控制,自動(dòng)調焦、尋區、切換物鏡……

供應鏈國產(chǎn)可控。

性能參數:

激光自動(dòng)聚焦

半導體缺陷檢測:自動(dòng)化顯微成像模組

顯微成像

半導體缺陷檢測:自動(dòng)化顯微成像模組

不同倍數物鏡下典型成像效果

半導體缺陷檢測:自動(dòng)化顯微成像模組

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